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1.
材质:SS316L不锈钢结构
2.
品牌:PARKER /FUJIKIN
3.
流量范围:15~300 SLPM
4.
尺寸:1/4至1/2in.
5.
连接方式:VCR,卡套连接
6.
不锈钢气体过滤
7. 超高纯直通型气体过滤器
8.
3纳米的粒子过滤能力确保了在*小压降下高流量
9.
去离子水清洗后,热氮气烘干,从而满足半导体工艺标准
10.
对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性
11.
5Ra电解抛光表面防止内污染
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